Plasma enhanced atomic layer deposition of zinc sulfide thin films
Crossref DOI link: https://doi.org/10.1116/1.4967724
Published Online: 2016-11-15
Published Print: 2017-01-01
Update policy: https://doi.org/10.1063/aip-crossmark-policy-page
Kuhs, Jakob
Dobbelaere, Thomas
Hens, Zeger
Detavernier, Christophe
Funding for this research was provided by:
Hercules (AUGE/09/014)
Universiteit Gent (GOA-01G01513)
Agentschap voor Innovatie door Wetenschap en Technologie
Fonds Wetenschappelijk Onderzoek
