Crossmark

Dense, single-phase, hard, and stress-free Ti0.32Al0.63W0.05N films grown by magnetron sputtering with dramatically reduced energy consumption

Crossref DOI link: https://doi.org/10.1038/s41598-022-05975-5

Published Online: 2022-02-09

Update policy: https://doi.org/10.1007/springer_crossmark_policy

Authors

Li, X.

Bakhit, B.

Johansson Jõesaar, M. P.

Petrov, I.

Hultman, L.

Greczynski, G.
Funding

Funding for this research was provided by:

Vetenskapsrådet (2018-03957)

Vetenskapsrådet (2018-03957)

Vetenskapsrådet (2018-03957)

Vetenskapsrådet (2018-03957)

Vetenskapsrådet (2018-03957)

Vetenskapsrådet (2018-03957)

Energimyndigheten (51201-1)

Energimyndigheten (51201-1)

Energimyndigheten (51201-1)

Energimyndigheten (51201-1)

Energimyndigheten (51201-1)

Energimyndigheten (51201-1)

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse (KAW2016.0358)

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse (KAW2016.0358)

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse (KAW2016.0358)

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse (KAW2016.0358)

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse (KAW2016.0358)

Knut och Alice Wallenbergs Stiftelse (KAW2016.0358)

VINNOVA (2016-05156)

VINNOVA (2016-05156)

VINNOVA (2016-05156)

VINNOVA (2016-05156)

VINNOVA (2016-05156)

VINNOVA (2016-05156)

Carl Tryggers Stiftelse för Vetenskaplig Forskning (CTS 20:150)

Carl Tryggers Stiftelse för Vetenskaplig Forskning (CTS 20:150)

Carl Tryggers Stiftelse för Vetenskaplig Forskning (CTS 20:150)

Carl Tryggers Stiftelse för Vetenskaplig Forskning (CTS 20:150)

Carl Tryggers Stiftelse för Vetenskaplig Forskning (CTS 20:150)

Carl Tryggers Stiftelse för Vetenskaplig Forskning (CTS 20:150)

Linköping University
License Information

Text and Data Mining valid from 2022-02-09

Version of Record valid from 2022-02-09
More Information

Article History

Received: 10 November 2021

Accepted: 21 January 2022

First Online: 9 February 2022

Competing interests

: The authors declare no competing interests.

Document is current

Any future updates will be listed below